螺桿真空泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，在國內制藥、化工、半導體等對清潔真空要求較高的企業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應用。

其工作原理：
　　螺桿真空泵的工作過(guò)程可分為三個(gè)過(guò)程：吸氣，壓縮和排氣。 當轉子旋轉時(shí)，彼此嚙合的每一對齒又一次完成相同的工作循環(huán)。 現在，一對牙齒用于說(shuō)明。
　　吸入過(guò)程
　　陽(yáng)轉子逆時(shí)針旋轉，而內螺紋順時(shí)針旋轉。 圖中轉子的上端是吸氣段，下端是排氣端。
　　壓縮過(guò)程
　　端面是排氣端面。 在此，陽(yáng)轉子順時(shí)針旋轉，陰轉子逆時(shí)針旋轉。 圖中轉子的上端是吸氣段，下端是排氣端。
　　排氣過(guò)程
　　在螺桿泵的排氣過(guò)程中，在齒之間的容積連接到排氣口之后開(kāi)始排氣過(guò)程。 隨著(zhù)齒間容積的不斷減小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過(guò)排氣口排出。